1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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115.159.107.* 中国上海腾讯云网友 whvpsc3072 于2020-04-14 03:08:34发表评论:
很好的主题,我喜欢
111.7.100.* 中国河南驻马店市移动网友 youya 于2018-12-14 00:42:15发表评论:
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66.249.69.* 美国Google网友 wxznzb 于2020-10-04 22:21:48发表评论:
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152.32.129.* 中国香港Zenlayer网友 wanyuan00 于2021-08-04 01:32:19发表评论:
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141.8.142.* 俄罗斯网友 zltpmc8581 于2020-05-21 02:25:21发表评论:
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17.121.113.* 美国Apple网友 oukai 于2020-12-17 13:02:26发表评论:
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120.235.138.* 中国广东肇庆市移动网友 gzqiexiao 于2020-10-14 08:32:41发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 bogesi 于2021-03-27 07:58:51发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 linkangyiliao 于2018-09-15 08:23:46发表评论:
我喜欢整体外观
216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 pailegongye 于2020-09-03 23:38:08发表评论:
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36.99.136.* 中国河南郑州市电信IDC机房网友 qiuzheng 于2018-09-20 04:50:18发表评论:
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66.249.75.* 美国Google网友 fsruideng 于2020-10-09 15:23:38发表评论:
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106.12.142.* 中国广东广州市百度网讯电信节点网友 putie 于2019-06-04 18:08:05发表评论:
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129.226.49.* 中国香港腾讯云网友 bafang 于2019-09-20 04:06:10发表评论:
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193.188.123.* 巴林网友 haoyibo 于2021-02-19 00:42:37发表评论:
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3.0.91.* 新加坡Amazon数据中心网友 kbhecl2334 于2019-03-03 09:50:18发表评论:
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111.7.100.* 中国河南驻马店市移动网友 huamaopigment 于2021-04-29 11:40:06发表评论:
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125.64.94.* 中国四川德阳市电信网友 fulande 于2019-07-11 05:55:58发表评论:
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66.249.69.* 美国Google网友 zhongdian 于2021-06-03 07:25:43发表评论:
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155.159.252.* 南非网友 hengxinchang 于2019-06-08 19:44:42发表评论:
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